مولد الترددات اللاسلكية لتصنيع أشباه الموصلات في عصر أنجستروم
كشفت شركة Advanced Energy عن مولد الطاقة eVerest RF لتوفير أنظمة توصيل الطاقة بالترددات الراديوية (RF) الدقيقة والمستقرة والقابلة للتكرار. تم تصميم eVerest لتمكين مهندسي العمليات من تلبية متطلبات الطاقة للتحكم بشكل أسرع مما كان متاحًا في السابق، ويدعم أحجام ميزات Angstrom Era ويوفر التحكم والدقة المطلوبة لأحدث عمليات تصنيع أشباه الموصلات. يتيح eVerest لمصنعي أشباه الموصلات توفير طاقة التردد اللاسلكي على النحو الأمثل، مع وظائف النبض والمنحدر لتوفير التحكم في إنتاجية العمليات الأعلى عند إنشاء هياكل أجهزة معقدة بشكل متزايد.
نظرًا لأن صناعة أشباه الموصلات تخلق بنيات شرائح أصغر وأكثر دقة، فإن توزيع طاقة التردد اللاسلكي إلى غرفة المعالجة يجب أن يتجاوز مولدات الترددات اللاسلكية أو مولدات الترددات اللاسلكية النابضة ثنائية المستوى. تتطلب بنيات الأجهزة ثلاثية الأبعاد المعقدة على الرقائق إجراءات معالجة فريدة تتطلب تفاعلًا على نطاق زمني ميكروثاني ودقة من مولدات طاقة التردد اللاسلكي على المصدر والتحيز. يتيح التحكم بالثانية الدقيقة لمولد الطاقة eVerest RF دقة النبض وتوصيل الطاقة لتلبية هذه المتطلبات. يعمل التحكم الدقيق في البلازما على توسيع نافذة التشغيل المستقرة ويسمح بعمليات دقيقة، مما يسمح لمهندسي العمليات بزيادة إنتاجية الرقاقة وإخراج الجهاز.
تم تصميم منصة مولد الطاقة eVerest RF لتوفير مستويات خرج طاقة تتراوح من 3.5 كيلووات إلى 10 كيلووات، عبر ترددات تمتد من 1 إلى 60 ميجاهرتز. ويمكّن هذا التنوع الملحوظ مصنعي أشباه الموصلات من ضبط عملياتهم وفقًا للمتطلبات المحددة لكل خطوة، مما يؤدي إلى تحسين توصيل الطاقة وخصائص البلازما.
في مقابلة مع Power Electronics News، ذكر يورجن براون، نائب الرئيس الأول لشركة Plasma Power في Advanced Energy، أن النبض متعدد المستويات الذي يمكن التحكم فيه ديناميكيًا مع توقيت انتقال فوري أو محدد من قبل المستخدم يمكّن eVerest من تلبية متطلبات الطاقة والتردد المحددة، ويحسن التحكم. لكيمياء العمليات، ويوفر الوصول إلى أنظمة وتوزيعات الطاقة الجديدة. وهذا يتيح عمليات أكثر تعقيدًا لعقدة تكنولوجيا أشباه الموصلات اللاحقة.
“تتيح أوقات الانتقال عالية السرعة ومستويات الطاقة المخصصة مع أدوات التحكم في زيادة التردد أو خفضه بين حالات النبض استقرار العملية أثناء عمليات الحفر والترسيب. يتيح eVerest إنشاء خنادق أعمق وأكثر استقامة وجدران جانبية عمودية أكثر على الميزات المهمة مقارنة بالمولدات السابقة التي لم تتمكن من توفير التحكم اللازم لإنشاء مثل هذه الميزات باستمرار. eVerest هي تقنية RF جديدة، تدمج الهيكل ووظيفة التحكم، مما يسمح بخطوات عملية جديدة ومتطورة. وقال براون: “كل هذا يأتي مع نفس واجهة الاتصال والاتصالات مثل التصميمات السابقة، مما يسمح بالتكامل المبسط في تصميمات غرفة عمليات OEM”.
تعظيم أداء تصنيع أشباه الموصلات
في المشهد المتطور باستمرار لتصنيع أشباه الموصلات، أدى الطلب على عوائد أعلى، وزيادة الدقة، والابتكار في العمليات المعقدة إلى ظهور تقنيات رائدة تعالج هذه التحديات بشكل مباشر. ومن بين هذه التقنيات، يبرز مولد الطاقة eVerest RF كحل يساهم في زيادة الإنتاجية والإنتاجية إلى أقصى حد، خاصة وأن الصناعة تتعمق في عصر أنجستروم بهياكلها ثلاثية الأبعاد المعقدة وعمليات التصنيع المبتكرة.
دلائل الميزات
التحكم الدقيق في البلازما: يوفر مولد الطاقة eVerest RF إمكانات نبض طاقة متعددة المستويات وقابلة للتكوين بدرجة عالية. وهذا يمكّن مصنعي أشباه الموصلات من تعزيز أنظمة توصيل طاقة البلازما الحالية وتطوير عمليات متقدمة وقابلة للتكرار للترسيب والحفر تحت 2 نانومتر.
“إن القدرة على توفير التحكم في حالات ضبط الطاقة الدقيقة التي تتضمن عددًا كبيرًا من أوقات التشغيل القصيرة جدًا والطويلة جدًا لجميع خطوات الحفر والحفر المهمة تمكن المهندسين من تصميم عمليات متقدمة بثقة لعقد تكنولوجيا الجيل التالي. في حين أن أوقات الحالة الأقصر تستمر في إرباك أنظمة توصيل طاقة التردد اللاسلكي القديمة، فإن النبض متعدد المستويات عالي الدقة من eVerest يسمح للعمليات بالاقتراب من أوقات حالة النبض بمقدار 5 ميكروثانية. وقال براون: “هذا مهم بشكل خاص للتحكم الدقيق في عمليات الترسيب والحفر التي تنشئ ميزات بأبعاد حرجة تبلغ 2 نانومتر أو أقل”.
مجموعة واسعة من القدرات: توفر المنصة طاقة خرج تتراوح من 3 إلى 10 كيلووات وترددات من 1 إلى 60 ميجاهرتز. يتميز النظام بتردد نبضي واسع وعالي الدقة يصل إلى 100 كيلو هرتز، مما يسهل استجابة نقطة الضبط عالية السرعة والتحكم في التجاوز بين الحالات الانتقالية.
تكامل النظام البيئي للطاقة المتقدمة: يمكن دمج مولد الطاقة eVerest RF مع ابتكارات الطاقة المتقدمة الأخرى مثل حل تحيز eVoS. يسمح هذا التكامل بتوقيت انتقال فوري أو محدد من قبل المستخدم، وتحسين حركية الحفر والترسيب.
استجابة مخرجات عالية السرعة: وفقًا لبراون، تمثل استجابة مخرجات الترددات اللاسلكية عالية السرعة لمولد الطاقة eVerest RF، مع تعديلات نقطة الضبط لتحسين حركية العملية الأسرع على الرقاقة، قفزة تحويلية في قدرات تصنيع أشباه الموصلات. يعد وقت التفاعل السريع أمرًا بالغ الأهمية بشكل خاص للعمليات المتقدمة التي تتميز بالانتقالات السريعة لنقطة الضبط وخطوات المعالجة القصيرة وحالات الغرفة التي تفرض تقلبات كبيرة في المعاوقة على أجهزة توصيل الطاقة. تتيح خوارزمية التحكم الخاصة بالنظام أوقات استجابة سريعة وتوصيل طاقة مستقرًا من خلال تحولات المعاوقة، مما يخفف من مشكلات عدم الاستقرار المحتملة التي يمكن أن تؤدي إلى نتائج غير متناسقة على مستوى الرقاقة.
مع تقدم تكنولوجيا أشباه الموصلات، أصبحت الصناعة مدفوعة لإنتاج أجهزة ذات ملفات تعريف أقل من 2 نانومتر، مما يستلزم انتقالات أسرع وأكثر سلاسة بين خطوات التصنيع. “يحقق مولد الطاقة eVerest RF قفزة هائلة في هذا الصدد من خلال تقديم تعديلات فورية على طاقة التردد اللاسلكي والتردد داخل النبضات. تعد هذه السرعة خروجًا صارخًا عن القيود السابقة التي فرضتها أوقات استجابة مصدر الطاقة. مع أوقات صعود وهبوط حالة النبض التي تقل عن 2 ميكرو ثانية، يعمل نظام eVerest على تمكين مصممي العمليات من صياغة عمليات معقدة بخطوات متعددة، دون تمديد الجداول الزمنية للتصنيع. وهذا بدوره يؤدي إلى تعزيز التجانس، وتحسين معدلات الحفر والترسيب، والقدرة الحاسمة على إجراء المعالجة على المستوى الذري.
النظام البيئي لبيانات إنترنت الأشياء: من خلال التكامل مع النظام البيئي لبيانات إنترنت الأشياء للطاقة المتقدمة من PowerInsight، يمكّن eVerest المشغلين من الوصول إلى بيانات عالية الدقة وعريضة النطاق. تسهل هذه البيانات توصيف العملية بشكل أسرع وأكثر دقة، واستكشاف الأخطاء وإصلاحها، وتقليل وقت التوقف عن العمل عن طريق التخلص من الحاجة إلى الوصول الفعلي إلى غرفة البلازما لتركيب معدات القياس.
الميزات الأخرى هي تسجيل بيانات راسم الذبذبات المدمج القابل للتكوين بالنانو ثانية للأحداث الحرجة (FastDAQ)، وقائمة شاملة من حقول البيانات لاستكشاف الأخطاء وإصلاحها ومراقبة صحة الوحدة وتحليل الارتباط.
صناعة أشباه الموصلات
يعد مولد الطاقة eVerest RF ضروريًا لعمليات أشباه الموصلات في عصر Angstrom والتي تحتاج إلى ميزات معقدة لا مثيل لها في الهياكل ثلاثية الأبعاد والتقنيات الجديدة. يعد توصيل الطاقة الدقيق في تسلسلات النبض وظروف البلازما سريعة التغير أمرًا ضروريًا. وقال براون إن توصيل الطاقة الدقيق لنظام eVerest يضمن الاستقرار والتكاثر والموثوقية في بيئة ذات تقلبات شديدة في مقاومة البلازما بسبب تدفق الغاز السريع والكيمياء وتغيرات الضغط، وهو أمر ضروري لإنتاج أجهزة عالية الجودة مع القليل من العيوب.
إحدى الميزات الرائعة لمولد الطاقة eVerest RF هي قدرات المزامنة الذكية.
“يعد تزامن النبض الذكي مع eVos أمرًا أساسيًا للتحيز المتداخل وأوقات تشغيل وإيقاف المصدر على مقياس ميكروثانية. قال براون: “إن مزامنة النبض الخاصة بـ AE تسمح بالتحكم الأكثر مرونة في حالة النبض بين أنظمة AE الفرعية”.
تعد ميزة التجاوز القابلة للبرمجة لمولد الطاقة eVerest RF مفيدة في المواقف التي تتطلب فيها العمليات حالات نبض ممتدة. يضمن النظام إشعالًا موثوقًا وبلازما مستدامة أثناء ظروف الطاقة المنخفضة أو المعدومة من خلال السماح بتخصيص سعة التجاوز والمدة. تستوعب هذه المرونة القابلة للبرمجة ظروف العملية المختلفة، مما يسهل في النهاية تنفيذ عمليات تصنيع أشباه الموصلات المعقدة.
ومع تقدم الصناعة في عصر أنجستروم بعملياتها الصعبة وهياكلها المعقدة، سيلعب نظام eVerest دورًا حاسمًا في تشكيل مستقبل تصنيع أشباه الموصلات، وتحقيق عوائد أعلى، وتحسين الدقة، والابتكارات المبتكرة.
اكتشاف المزيد من موقع 5 كيلو
اشترك للحصول على أحدث التدوينات المرسلة إلى بريدك الإلكتروني.
