تعلن Revasum عن إصدار مجموعة تحويل 200 مم لمنصة 6EZ SiC CMP الخاصة بهم

أعلنت Revasum عن توفر قدرة تلميع بسكويت الويفر 200 ملم من SiC لمنصة تلميع الويفر الرئيسية 6EZ. في التصنيع بكميات كبيرة من ركائز كربيد السيليكون (SiC) بقطر 150 مم ، أظهر 6EZ بالفعل قيمته ، وتم الآن اختبار وإطلاق مجموعة تحويل 200 مم بالكامل. يتيح ذلك للعملاء تحديث أنظمة 6EZ الخاصة بهم أثناء استخدامها.

مع المقر الرئيسي في سان لويس أوبيسبو ، كاليفورنيا ، ومكاتب المبيعات والخدمات المباشرة والمستقلة في الولايات المتحدة والصين وأوروبا واليابان وكوريا وتايوان ، تتخصص Revasum في تصميم وإنتاج المعدات الرأسمالية المستخدمة في عملية تصنيع أجهزة أشباه الموصلات.

تشمل مجموعة منتجات الشركة معدات الطحن والتلميع و CMP المستخدمة لتصنيع الركائز والأجهزة لصناعة أشباه الموصلات العالمية ، و 6EZ هي أول آلة تلميع أوتوماتيكية بالكامل ، أحادية الرقاقة ، تجف في العالم مصممة خصيصًا ل SiC .

وفقًا للشركة ، على الرغم من صعوبة العثور على ركائز 200 مم في السوق ، فقد تم إنشاء 6EZ من البداية لتلميعها. ومع ذلك ، في الآونة الأخيرة ، كان بإمكانهم تحديد أداء التلميع بشكل كافٍ على ركائز 200 مم. حصل Revasum على رقاقات 200 مم على نفس نطاق التشغيل PV (الضغط × السرعة) الذي تمت ملاحظته من قبل على رقائق 150 مم SiC باستخدام نفس الأداة. تم تحقيق ذلك على الرغم من زيادة مساحة السطح التي تم تلميعها بمقدار ضعفين.

07.06.2023

07.05.2023

07.05.2023

تعتقد Revasum أن تلميع رقائق SiC الأساسية يتطلب تصميم رأس يختلف عن الرؤوس التقليدية القائمة على الأغشية. يجب أن يثبت رأس الصقل الرقاقة في مكانها أثناء تطبيق الضغط المتحكم فيه على الجانب السفلي من الرقاقة لتحقيق معدل إزالة مرتفع بشكل موحد مع إدارة حرارية فعالة.

6EZ هي أول أداة CMP أحادية الويفر لتلميع رقائق SiC. يمكّن تصميم 6EZ وتقنيات التبريد المبتكرة من العمل بسرعات الجدول والقوى السفلية أكبر من تلك المطلوبة لـ CMP للمواد الصلبة مثل SiC. لتقليل تكييف الوسادة ، وتحسين تجانس الرقاقة ، وإطالة عمر المواد الاستهلاكية ، فإن تصميم حامل ViPRR المبتكر يحافظ على الرقاقة في مكانها مع تقليل احتكاك التلميع على الوسادة.

Maurizio Di Paolo Emilio حاصل على درجة الدكتوراه في الفيزياء ومهندس اتصالات. عمل في العديد من المشاريع الدولية في مجال أبحاث موجات الجاذبية ، وتصميم نظام التعويض الحراري (TCS) وأنظمة الحصول على البيانات والتحكم فيها ، وفي مشاريع أخرى حول الحزم الميكروية للأشعة السينية بالتعاون مع جامعة كولومبيا ، وأنظمة الجهد العالي وتقنيات الفضاء. للاتصالات والتحكم في المحركات مع ESA / INFN. تم تطبيق TCS على تجربتي Virgo و LIGO ، التي اكتشفت موجات الجاذبية لأول مرة وحصلت على جائزة نوبل في عام 2017. منذ عام 2007 ، كان مراجعًا للمنشورات العلمية للأكاديميين مثل مجلة Microelectronics Journal ومجلات IEEE. علاوة على ذلك ، فقد تعاون مع شركات صناعة إلكترونية مختلفة والعديد من المدونات والمجلات الإيطالية والإنجليزية ، مثل Electronics World و Elektor و Mouser و Automazione Industriale و Electronic Design و All About Circuits و Fare Elettronica و Elettronica Oggi و PCB Magazine ، كاتب / محرر تقني متخصص في عدة مواضيع في الإلكترونيات والتكنولوجيا. من عام 2015 إلى عام 2018 ، كان رئيس تحرير Firmware و Elettronica Open Source ، وهما مدونات ومجلات تقنية لصناعة الإلكترونيات. شارك في العديد من المؤتمرات كمتحدث في الكلمات الأساسية لموضوعات مختلفة مثل الأشعة السينية وتقنيات الفضاء وإمدادات الطاقة. يستمتع موريزيو بكتابة وإخبار القصص حول إلكترونيات الطاقة وأشباه الموصلات ذات فجوة الحزمة العريضة والسيارات وإنترنت الأشياء والمدمجة والطاقة والحوسبة الكمومية. ماوريتسيو هو محرر محتوى في AspenCore منذ عام 2019. وهو حاليًا رئيس تحرير Power Electronics News و EEWeb ومراسلًا لـ EE Times. وهو مضيف برنامج PowerUP ، وهو بودكاست حول إلكترونيات الطاقة ، ومروج ومنظم مؤتمر PowerUP الافتراضي ، وهو قمة يتحدث فيها المتحدثون الرائعون كل عام عن اتجاهات تصميم إلكترونيات الطاقة. علاوة على ذلك ، فقد ساهم في عدد من المقالات التقنية والعلمية بالإضافة إلى عدد من كتب Springer حول حصاد الطاقة وأنظمة الحصول على البيانات والتحكم فيها.